将Air Washer的DIW的电导值变化，外气中NH3的含量以及经过Air washer之后NH3的含量绘制在同一张图表中，观察它们之间是否有相关性，结果见图5。
从图5中可以看出：洁净室环境中NH3含量与Air Washer的DIW的电导值成正比，当外气中NH3的含量较高，且没有控制DIW的电导值时，DIW对NH3的吸收率较低，从而导致洁净室中的NH3含量的增高，当将DIW的电导值控制以后，洁净室中NH3的含量有明显的降低，而且波动较小，趋于稳定。
但是，这个控制方法也存在一定的局限性，即受限于DIW对NH3的吸收能力，根据经验一般认为，当外气中NH3含量在50×10-9以下时，通过控制DIW的电导值可以进行有效控制；当外气中NH3含量超过50×10-9或者过高时，DIW的吸收效率就会降低，从而导致无法进行有效控制。即，该步骤具有一定的随机性，为使洁净室光刻区域环境中NH3的含量满足ITRS标准要求，需要采取第二步措施：在洁净室光刻区域环境中连续监测NH3的含量，结果见图6。
从图6可以看出，在洁净室的天花板上加装化学过滤器以后，环境中NH3的含量有很明显的降低，保持稳定，并且满足ITRS标准要求。
化学过滤器都是有使用寿命的，当它的吸收能力被消耗尽以后，就失去了原来的作用，这时就有两种现象发生：
第一，失去对NH3的过滤控制作用；
第二，有可能会带来其他的污染。
所以就要通过监测数据粗略估计过滤器的过滤效率：同时在经过天花板过滤器之前（经过Air washer之后）和经过天花板过滤器之后（洁净室光刻环境）中取样监测，粗略估计过滤器的效果，结果见图7。
从图7中可以看出：经过过滤器之前与经过过滤器之后NH3的含量成正比，过滤器对环境起到了很好的保护作用。所以可以根据洁净室中NH3含量，变化情况和过滤器的过滤效率决定何时更换过滤器。
4 SO2的控制
在洁净室环境AMC的控制中，相对于NH3的控制来讲，SO2的控制就相对简单一些，SO2的污染主要是由外气引起的，但地点不同季节不同影响也会不同，可以概括为：北方比南方难控制，冬季比夏季难控制，比如在北方、冬季使用煤进行取暖，燃烧煤就会释放出大量的SO2，这些污染源经由外气补充口（Makeup Air Unit），如果不进行控制，就会直接进入洁净室，从而造成污染，严重影响产品品质，而在夏季，SO2的主要来源就大为减少，相对就比较容易控制。
对于SO2的控制，最好的方法就是在MAU端加装化学过滤器，从开始就控制进入洁净室SO2的量，从而保证光刻区域环境中SO2的浓度满足ITRS标准要求。
MAU端安装化学过滤器后，在经过过滤器之前和过滤器之后对SO2进行的连续监测，同时根据前后数据的差异评估过滤器对SO2的过滤效果，结果见图8。
通过图8可以明显得出以下结论：经过过滤器之前与之后SO2的浓度成正比，同时也可以知道通过安装化学过滤器，对SO2起到了很好的吸收作用，保证了洁净室光刻区域环境满足ITRS标准要求，而且还可以根据洁净室中的SO2含量的变化情况和过滤器的过滤效率决定何时更换过滤器。
5 结束语
综上所述，对NH3和SO2进行严格控制是极为必要的，随着制程工艺的发展，对环境中NH3和SO2的要求也越来越严格，越来越多的Fab依赖化学过滤器去除NH3和SO2，但是化学过滤器的价格昂贵，而且当NH3和SO2的浓度太高时，化学过滤器就会很快过饱和从而失去过滤效率，这时候为了满足生产要求，所能做的就是更换化学过滤器，这是一比不小的费用，但是相对于如果由于NH3和SO2的污染对制程和产品的良率造成决定性的影响而形成的损失相比，这又是微不足道的。
正是由于NH3和SO2对制程和产品的良率具有决定性的影响，就需要定期对洁净室NH3和SO2的baseline，当制程或者生产出现异常情况时，可以根据baseline及时发现问题，找出原因：二是可以通过定期监测，观察环境的变化趋势，当监测数据超出管制界限时，可以采取有效措施，减少因NH3和SO2所引起的损失。 | 
