PGS 1.7 平面光栅光谱感测器

继成功推出MCS多通道光谱仪及MMS单块微型光谱感测器后带Si光电二极管阵列感应器或CCD感测器后，蔡司推出新一代InGaAs二极管阵式光谱仪应用於近红外NIR 范围。PGS系列的特徵是把垂准仪及聚焦镜头结合于一个平面光栅上，与MMS及MCS系列一样，都是把所有部件永久固在一起，因此高耐热性、可电脑化及抵御震颤。它提供极佳波长稳定及高波长准确性，PGS系列在NIR范围适合各种应用。由於其光学解象度高，极适合用於半导体业作薄膜厚度测量。另外一个优点是其价钱相对其表现比较平宜。

PGS1.7 适用波长范围960-1690nm，二极管阵列是512pixels及其解象度是5nm。

PGS 有以下优点：

• 适用NIR多种测量项目

• 防震、永久已检定系统

• 电脑化及高温稳定

• 极佳波长稳定性及准确性

• 高解象度

PGS 1.7 SPECIFICATION
Optical entrance output linear 80 µm Grating 484 l/mm (in center) Spectral range 960 ...1690 nm Pixel Dispersion Resolution approx. 1.5 nm approx. 5nm Diode array • Pixel number 512 • Pixel size 25 x 500 µm